离子注入机迎来国产替代机遇

　　离子注入是指将离子入射到硅片材料中，引起材料表面成分、结构和性能发生变化的掺杂过程，是最主要的掺杂工艺，下游为集成电路、IGBT、太阳能电池、AMOLED等。其中低能大束流是最主要的离子注入设备。

　　根据SEMI、中商产业研究院、CPI-A、DIGITIMES等数据来源以及我们的测算，离子注入设备在晶圆加工设备、光伏设备以及AMOLED设备的比重分别为5%、0.3%以上以及7%左右，对应的全球市场规模分别为25亿美元左右、1.02亿美元以上以及3.64亿美元以上。未来受益于全球半导体需求增加、产线产能的扩充以及技术演进，光伏行业的持续发展以及AMOLED需求增长，市场规模有望进一步扩大。

　　离子注入机行业存在较高竞争壁垒，行业集中度较高，整体而言整个市场主要由美国厂商垄断，美国应用材料公司和美国Axcelis公司合计占据全球70%以上的市场。分领域来看，半导体制造领域应用材料、Axcelis和汉辰科技AIBT地位领先，太阳能电池生产领域主要为【()、】（600641）旗下凯世通、美国Inte-vac和日本真空技术三家，其中万业企业旗下凯世通竞争地位领先，AMOLED面板制造领域被日本日新垄断。

　　从需求端的角度来看，政策、资金、市场三大因素助力中国内地晶圆制造产线增加，带来整体半导体设备投资金额的增加以及细分领域离子注入机的成长机遇。光伏产业政策与AMOLED产线扩充，下游领域良好成长将带动离子注入机需求。

　　从供给端的角度看，国内离子注入设备的主要厂商为万业企业旗下凯世通和中科信，近年来两家公司分别在技术储备以及客户认证方面取得了良好的进展，部分领域已经取得全球领先。未来离子注入设备有望成为显着受益国内市场需求发展的赛道。